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半導體加工精度要求極高,有三大硬性指標,旋轉精度、穩定性、潔凈度。傳統主軸無法滿足這些要求,滾珠軸承的接觸摩擦會產生振動、磨損碎屑,同時轉速也不夠。為何需要如此高的轉速,是因為硅片脆性大,必須要極高的轉速滿足其線速度,才能控制單刃切削量在極低的程度。
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