半導(dǎo)體加工精度要求極高,有三大硬性指標(biāo),旋轉(zhuǎn)精度、穩(wěn)定性、潔凈度。傳統(tǒng)主軸無(wú)法滿足這些要求,滾珠軸承的接觸摩擦?xí)a(chǎn)生振動(dòng)、磨損碎屑,同時(shí)轉(zhuǎn)速也不夠。為何需要如此高的轉(zhuǎn)速,是因?yàn)楣杵嘈源螅仨氁獦O高的轉(zhuǎn)速滿足其線速度,才能控制單刃切削量在極低的程度。
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